質(zhì)量控制
LAYERTEC大力保證當(dāng)前和未來產(chǎn)品的質(zhì)量。
我們的測量設(shè)備用于監(jiān)督基材和鍍膜生產(chǎn)。
例如我們定期測量
•表面形式
•表面粗糙度/整理質(zhì)量
•光譜透射和反射率
•光譜相和GDD(如果適用)
•使用帶OPO光源的寬帶腔衰減設(shè)置,在寬波長范圍內(nèi)實現(xiàn)反射率測量
•某些波長和脈沖長度的損傷閾值測量
精密光學(xué)測量工具
LAYERTEC的精密光學(xué)設(shè)備配有用于平面和球面曲面的干涉儀。具有λ/ 20(633nm)平坦度的平面襯底和形式公差為λ/ 10(633nm)的球形襯底可以提供干涉測量方案。
LAYERTEC還采用高性能Fizeau干涉儀和Twyman-Green干涉儀,在以下測量范圍內(nèi)對大光學(xué)元件進行形狀公差測量:
平面:
•大∅= 300mm
•測量精度:λ/ 100(546nm)的平坦度
球面:
•高∅= 500mm,a
•測量精度:λ/ 50(546nm)的形狀公差
原子力顯微鏡(AFM)是一種有用的儀器,用于表征平均厚度小于5埃的非常光滑的表面。 LAYERTEC有一個AFM來控制特殊的拋光過程,并根據(jù)要求提供檢驗協(xié)議。
鍍膜測量工具
LAYERTEC的檢測程序包括在120nm和20μm之間的波長范圍內(nèi)的涂覆光學(xué)器件的分光光度測量。使用PERKIN ELMER分光光度計Lambda950®,Lambda750®和Lambda19®進行190nm3200nm波長范圍內(nèi)的標準分光光度測量。對于超出該波長范圍的測量,LAYERTEC配備了FTIR光譜儀(λ=1μm...20μm)和VUV光譜儀(λ= 120nm ... 240nm)。
通過腔衰減時間光譜測量R = 99.9 ... 99.9995%的高反射率。實際上LAYERTEC配有各種CRDS測量系統(tǒng),可用于355nm1064nm的波長范圍。此外,還提供了一種新穎的寬帶CRDS設(shè)置,可以提供在220nm和2300nm之間的范圍內(nèi)的低損耗反射鏡的反射率的測量。
LAYERTEC配備了具有ns脈沖的266nm,355nm,532nm和1064nm的LIDT測量設(shè)置。
Fraunhofer研究所IOF Jena和激光中興漢諾威公司也與光電技術(shù)研究所(Jena)合作,測量光學(xué)薄膜和散裝材料的吸收和散射損耗以及激光損傷閾值測量。
Fizeau Interferometer (SOLITON MiniFIZ 300)
Interferometer (OptoTech®)
Atomic Force Microscope (DI Nanoscope®)
Spectrophotometer
Cavity Ring-Down Setup
GDD-Measurement Setup
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